Описание

Полуавтоматические печи RFM 200/300 предназначены для оплавления шариков припоя на полупроводниковых пластинах в инертной среде, а также в парах муравьиной кислоты. Габариты рабочих камер позволяют размещать в них пластины диаметром до 8”/200 мм и 12”/300 мм. Во время оплавления камера заполняется азотом в автоматическом режиме. Загрузка и выгрузка пластин осуществляется вручную.

В рабочую камеру встроена нагревательная плита с алюминиевым покрытием. Температура нагрева программируется в пределах до 350°С. Однородность температуры по всей поверхности плиты составляет ±5°С.

В печах используется система автоматического подъема пластины на программно заданные высоты. С помощью этой системы достигается точное соблюдение заданного термопрофиля оплавления.

Оплавление в инертной среде азота позволяет избежать окисления припоя. Также оплавление может осуществляться в формир-газе или другой активной газовой среде. Образующиеся во время оплавления пары удаляются из рабочей камеры через отдельное вытяжное отверстие.

Отличительными особенностями RFM 200/300 являются их компактные размеры, небольшая занимаемая площадь и низкий расход потребляемого азота.

Технические характеристики

• Герметичная рабочая камера, пайка в среде азота;
• Ручная загрузка/выгрузка пластин;
• Диаметр пластин – до 12” / 300 мм;
• Нагревательная плита с алюминиевым покрытием;
• Программируемый термопрофиль;
• Регулируемое время предварительного нагрева и охлаждения;
• Регулируемая температура оплавления в диапазоне до 350 °С;
• Однородность температуры по всей поверхности плиты ±5 °С;
• Программируемые высоты подъема пластины относительно нагревательной плиты (до 4 уровней);
• Регулируемое время охлаждения потоком азота;
• Скорость охлаждения задается временем охлаждения и скоростью потока азота;
• Контроль расхода азота;
• Вакуумный датчик наличия пластины;
• Ручной механизм для загрузки и выгрузки пластин;
• Оплавление в среде азота с уровнем кислорода менее 50 ppm;
• Вытяжное отверстие;
• Продувка рабочей камеры осуществляется потоком азота;
• Уровень вакуума до 500 мбар;
• Расход азота до 50 л/мин;
• 3 этапа процесса оплавления: предварительный нагрев, оплавление, охлаждение потоком азота;
• Управление: PLC-контроллер с 6” дисплеем. Работа оборудования выполняется в полуавтоматическом режиме;
• Габариты 700 х 700 х 600 мм (ДхШхВ).

Опции

Система подготовки паров муравьиной кислоты, включая

• стеклянная емкость для муравьиной кислоты, объем 1л
• система циркуляции из материалов, стойких к воздействию муравьиной кислоты
• расходомер, настраиваемый вручную (10-100 л/мин)
• кислотостойкий соленоидный клапан.