Описание:

Устройство шагового перемещения тиглей CI-100 - экономичный, надёжный контроль электронно-лучевых источников с несколькими тиглями. Устройство шагового перемещения тиглей CI-100 используется для вращения электронно-лучевых источников с несколькими тиглями через вращательный вакуумный ввод. В состав устройства входят контроллер, вращательный электропривод, монтажный кронштейн и соединительный кабель. Гибкая конфигурация позволяет подстроиться к конкретной системе и техпроцессу. CI-100 совместим практически со всеми источниками электронных пучков, а дискретные вводы-выводы совместимы с существующими устройствами шагового перемещения.

 

 

Простая, интуитивно понятная настройка и эксплуатация

Органы управления на передней панели обеспечивают простое управление процессом:

• Индикация выбранного круглого тигля или скорости переключения при использовании бананообразного тигля
• Выбор способа управления: с передней панели или внешними сигналами ввода-вывода
• Шаговое перемещение устройством по часовой стрелке или против
• Переключение устройства шагового перемещения к следующему круглому тиглю или переходы с шагом 1,8°
• Калибровка позиции или задание скорости
• Индикация выбранного круглого тигля
• Индикация соответствия позиции устройства выбранному тиглю
• Индикация состояния выполнения перемещения устройством

 

 

Преимущества

• Прямой привод – отсутствует необходимость настройки или регулировки шкивов
• Электронная калибровка позиции – нет механических регулировок
• Компактный вращательный электропривод с большим моментом 200 унций на дюйм и режимом холодной работы
• Устанавливается на стандартный вакуумный ввод с 1-дюймовым резьбовым соединением или 2 3/4-дюймовым фланцем CF
• Возможность самостоятельного конфигурирования любого расположения круглых и бананообразных тиглей
• Включено 8 предопределённых конфигураций расположения круглых и бананообразных тиглей
• Дискретные вводы-выводы совместимы с существующими устройствами шагового перемещения

Настройка конфигурации системы – Пользователь может легко настроить нужную конфигурацию, используя прилагаемую простую программу под Windows.

 

 

Технические характеристики

Вращательный электропривод

 

Тип электродвигателя	Mикрошаговый
Вращательный момент	1,4 Н х м
Скорость (частота вращения)	низкая: 0,05; 0,06; 0,08; 0,10; 0,12; 0,15; 0,19; 0,24; 0,30; 0,37 высокая: 0,5; 0,6; 0,8; 1,0; 1,2; 1,5; 1,9; 2,4; 3,0; 3,7
Разрешающая способность	1,8°
Воспроизводимость	0,25°
Габаритные размеры (В х Ш х Г)	89 х 89 х 122 мм
Масса	1,5 кг
Электропитание	12 Вт (подаётся от контроллера)

 

 

Контроллер

Тигли	Не более 8
Дискретные вводы	Двоичная или двоично-десятичная кодировка низкий: 0-2 В пост. тока; высокий: 4-24 В пост. тока; незамкнутые
Передача данных	RS-232 или Ethernet
Габаритные размеры (В х Ш х Г)	88 х 213 х 197 мм
Масса	2,7 кг
Электропитание	100-120/200-240 В, 50/60 Гц, 20 Вт
Соответствие требованиям	CE (LVD и ECD)
Соединительный кабель	3 м, стандартный соединитель DB25