Описание:

Установка SiQC предназначена для выращивания монокристаллических слоев кремния сверхвысокой чистоты на монокристаллической кремниевой подложке, для оценки заготовок на предприятиях по производству поликремния.

Система SiQC обеспечивает оптимальный контроль толстослойных эпитаксиальных пленок кремния, на пластинах выращенных методом плавающей зоны. Для минимизации отложений используется рабочая камера из кварца высокой чистоты с водяным охлаждением, что позволяет поддерживать ее в холодном состоянии даже при длительных процессах осаждения.

Минимальные отложения в камере позволяют выполнить больше циклов между чистками.

Особенности:

• Программное обеспечение для управления системой CVDWinPrC™ для контроля процесса в реальном времени, регистрации данных и редактирования набора команд
• Предварительно запрограммированные наборы команд для эпитаксиального наращивания кремния
• Обработка до двух пластин за один цикл
• Держатель высокой чистоты
• Консольная автоматическая система загрузки/выгрузки подложек
• Загрузочный шлюз изолирует рабочую камеру от окружающей атмосферы во время загрузки и выгрузки
• Рабочая камера из кварца высокой чистоты с водяным охлаждением и холодными стенками
• Высокочастотный индукционный нагрев
• Рабочие температуры 700 °C-1500 °C
• Два газопровода с контролем весового расхода: аргон и водород сверхвысокой чистоты
• Встроенная вакуумная система для откачки рабочей камеры до базового давления менее 20 мторр
• Системы безопасности, конфигурируемые в соответствии с приложением
• Обучение на рабочем месте по запуску системы, эксплуатации и обслуживанию
• Полная защитная блокировка программного и аппаратного обеспечения
• Гарантия 1 год
• Запуск системы и обучение на месте эксплуатации
• Соответствие стандартам SEMI - S2/S8 и CE
• Чистая крышка отверстий с диафрагмой для минимального загрязнения при загрузке и выгрузке тестовых кремниевых подложек с держателем высокой чистоты
• Опция непрерывной подачи хлорсилана (DCS,TCS,SiCl4)
• Опция непрерывной подачи силана
• Опция подачи хлорсилана через испаритель-барботер - съемный испаритель-барботер
• Водородный очиститель (производительность 20 ст. л/мин) для подачи водорода высокой чистоты
• Шкафы EasyGas™ для взрывоопасного газа
• Панели для сверхчистого газа EasyPanel™ для аргона, азота, гелия, кислорода
• Система обработки отработавших газов EasyExhaust™ (очиститель/пиролизер)
• Настройка и эксплуатационное тестирование в лаборатории CVD
• Расширенная гарантия

Под управлением CVDWinPrC™

Системы, работающие под управлением программного обеспечения CVDWinPrC™, автоматически регистрируют данные и графически отображают зависящие от времени значения, согласно выбранным пользователем параметрам. CVDWinPrC™ также предоставляет пользователям возможность загружать предварительно запрограммированные наборы команд, изменять, проверять и создавать новые наборы, и просматривать текущие или сохраненные данные технологического процесса.
Протоколы безопасности
Системы оснащены протоколами безопасности, сконфигурированными в соответствии с приложением, которые встроены в релейно-контактную логическую схему, программируемый логический контроллер и программное обеспечение CVDWinPrC™.