Сканирующие электронный микроскопы (СЭМ) или как их ещё называют растровые электронные микроскопы используются в нанотехнологиях, биотехнологиях и многих других отраслях промышленности для решения широкого спектра наблюдательных и аналитических задач, от визуализации мелкозернистой структуры веществ до определения их состава с помощью микроанализаторов (EDX приставка). По мере того, как диапазон приложений СЭМ расширяется и охватывает новые области и новые задачи, необходимость наблюдения за образцами больших размеров и большого веса, включая автомобильные компоненты и промышленные материалы, такие как железо и сталь, становится все более проблематичной из-за ограничений, налагаемых на образцы для сканирующих микроскопов, которые должны были быть разрезаны на более мелкие части или иным образом обработаны перед установкой для наблюдения.
Кроме того, в последние годы мы стали свидетелями растущей потребности в управлении мелкозернистой структурой различных типов материалов с целью повышения функциональности и производительности, в результате чего диапазон практических применений технологии СЭМ расширился за пределы обычных приложений НИОКР и охватил такие области, как как обеспечение качества и контроль производственного процесса — области, в которых растровые электронные микроскопы используются все чаще. Эти разработки создали потребность в улучшении простоты эксплуатации, чтобы снизить практическую нагрузку на операторов СЭМ.
SU3800 и SU3900 предназначены как для облегчения наблюдения за большими и тяжелыми образцами, так и для повышения простоты эксплуатации. В частности, SU3900 это модель с очень большой камерой которая оснащена предметным столиком самого крупного класса — диаметром 300 мм  и максимальным весом образца 5 кг. Это позволяет наблюдать большие образцы без необходимости вырезания или другой обработки образцов. Более того, процесс измерения после установки образца — от облучения электронным пучком до настройки изображения — был автоматизирован, чтобы обеспечить получение отсканированный изображений  сразу после начала наблюдений, что позволяет ускорить рабочий процесс наблюдений.
Кроме того, задача поиска целевого поля обзора — для которого обычные инструменты используют одноцветное изображение, захваченное оптической камерой, — упрощается нашей технологией навигации камеры, в которой предметный столик поворачивается для захвата нескольких частичных изображений образца, которые затем сшиваются в составное целое изображение для облегчения поиска в поле зрения для наблюдения больших выборок на большой площади.

Вот некоторые преимущества сканирующих микроскопов Hitachi SU3800/3900

• Прочный большой предметный столик дает свободу в выборе размера, формы и веса сканируемого образца

• Надежность и продуманность во всем.

Часто сканирующие электронные микроскопы повреждают на этапе загрузки образцов, но в микроскопах Hitachi это невозможно так как предусмотрена специальная система подсказок для пользователя, которая помогает избежать риска повреждения из-за ошибки человека, даже с нестандартными или большими образцами. 

• Самая удобная в классе загрузочная камера с удобной системой смены образцов.

  Замена образца происходит без создания и снятия вакуума в камере для образцов, что обеспечивает превосходную производительность по сравнению с конкурентами.

  • 

• Увеличьте количество действий с образцами с помощью функции Отмены Ограничения Перемещения (ООП).

Растровые микроскопы Hitachi SU3800/SU3900 могут  быть сконфигурированs с функцией ООП, что повышает гибкость перемещения. Оператор может перемещать курсор по всей площади  в соответствии со своими целями, без ограничений.

• Функция «Обзор камеры» повышает безопасность движений при перемещении образца.

  «Обзор камеры» — это устройство для наблюдения за внутренней частью камеры для образца. С помощью инфракрасной камеры можно контролировать внутреннюю часть камеры для образца во время наблюдения SEM-изображения. Также можно увеличить изображение, полученное с помощью «Обзор камеры», и более четко рассмотреть положение образца.

• Увеличенная область просмотра, функция SEM MAP расширяет границы навигации по образцу.

  Встроенная камера, теперь внутри загрузочной камеры, предлагает широкоугольную навигацию  в графическом интерфейсе пользователя. Указав положение цели наблюдения на SEM MAP, оператор может плавно перемещать столик в любое положение в пределах наблюдаемой области и переключаться с цветного изображения с широким полем обзора на изображение SEM с большим увеличением, свободно увеличивая и уменьшая масштаб. Любое изображение можно импортировать и использовать эту возможность.

• Простая навигация по всей наблюдаемой области.

Изображения с большой площади, полученные с помощью SEM MAP, получаются путем сшивания множества изображений. Перейдите в любое место из наблюдаемых областей, диаметр 127 мм / диаметр 200 мм. (SU3800 / SU3900) одним щелчком мыши. При необходимости стол будет автоматически вращаться во время навигации.

• Вращение, ориентированное на детектор.

Графический интерфейс пользователя позволяет легко визуально определить ориентацию между образцом и детекторами, позволяя оператору плавно перемещаться по интересующим областям, включая вращение. Во время наблюдения / анализа образцов с топографическими неровностями вращение предметного столика и направление сканирования при просмотре SEM MAP устраняет такие проблемы, как влияние теней.

• Несколько режимов работы.

Имеет удобный и гибкий графический пользовательский интерфейс, со следующими достоинствами:

• Возможность управления сценой навигации и условий наблюдения с помощью мыши
• С помощью сенсорного экрана и / или панели управления
• Большое главное окно с разрешением
• Одновременное отображение для разных типов сигналов

• Автоматические функции для операторов любого уровня подготовки

  Легко перемещайтесь по всей наблюдаемой области (по сравнению с Hitachi Model S-3700N).
  После завершения настройки образца различные настройки изображения (AFS / ABCC / AFC / ASC) автоматизируются, так что образцы изображений могут быть получены сразу после начала наблюдения.

Автоматизированные функции:

AFS = Насыщенность нити
ABCC = Коррекция контрастности яркости
AFC = Коррекция фокуса
ASC = Коррекция стигмы

Благодаря высокоскоростным автоматическим функциям, основанным на новых алгоритмах проектирования, время выполнения функций автоматической настройки изображения в 3 раза меньше по сравнению с предыдущая модель. Сбор данных высокого качества стал быстрее, чем когда-либо!

• Улучшенная функция автофокуса

Улучшенный алгоритм автофокуса теперь еще больше упрощает быстрое получение высококачественных изображений, особенно для плоских образцов.

• Особенности нашей запатентованной технологии Intelligent Filament Technology (IFT):

• Автоматический мониторинг и контроль состояния нити накала катода обеспечивает долгий срок службы нити.
• Мониторинг и обратная связь в реальном времени показывают оставшийся срок службы нити накала.

Благодаря этой функции оператор может уверенно использовать устройство даже для длительного непрерывного наблюдения, например, для анализа частиц.

• Функция Multi Zigzag обеспечивает широкое наблюдение в нескольких областях.

Функция Multi Zigzag позволяет настраивать обзор в нескольких местах на предметном столике, позволяя получать несколько изображений с большим увеличением в выбираемых пользователем областях, представляющих интерес. Эти изображения можно монтировать для создания микрофотографий с высокой плотностью пикселей, подключив полученные изображения с помощью функции Viewer.

• Разнообразные аксессуары, устанавливаемые на любой из 20 портов инновационной камеры для образцов SU3900.

• Высокочувствительные детекторы, для различных задач.

SU3800 / SU3900 имеют высокочувствительный UVD детектор. UVD может получать изображения и информацию о вторичных электронах, обнаруживая свет, генерируемый столкновениями вторичных электронов и молекул остаточного газа, ускоренных электродом смещения.

• Сегментированный BSED позволяет визуализировать композицию и топографию

Благодаря 5-сегментному дизайну можно наблюдать композиционные изображения, трехмерные изображения и топографические изображения с 4 направлений без поворота образца. Благодаря конструкции и высокой чувствительности детектора возможно получение изображений с высоким разрешением с улучшенным сохранением отношения сигнал / шум.

• Держатель STEM (опция)

Легко получайте передаваемые изображения на тонких образцах. Недавно разработанный держатель STEM можно использовать для получения передаваемых изображений с детектора Hitachi UVD. Могут быть получены изображения тонких или биологических образцов.

Образец: CNT Ускоряющее напряжение: 30 кВ Сигнал изображения: STEM Увеличение: 30,000x	Образец: срез седалищного нерва Ускоряющее напряжение: 30 кВ Сигнал изображения: STEM Увеличение: 10,000x

 

• Программное обеспечение для 3D-моделирования: Hitachi map 3D.

Hitachi map 3D автоматически объединяет 4 изображения, полученные с разных направлений с помощью детектора обратно рассеянных электронов, для построения 3D-модели. Возможны такие измерения, как высота между двумя точками, объем и простая шероховатость поверхности (шероховатость площади, шероховатость линий и т. Д.). Поскольку все данные об обратном рассеянии электронов собираются за один прием, нет необходимости наклонять образец или регулировать поле зрения.